各相關學院及研究機構： “極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項2013年項目申請已經(jīng)開始，具體請見《關于發(fā)布“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項2013年項目指南的通知》，請相關單位積極組織教師參與申報。聯(lián)系人：夏雯；聯(lián)系電話：83500232。 科技處 二〇一二年六月六日
